各有關單位：
經集成電路材料產業技術創新聯盟（簡稱：ICMTIA）標準委員會審查，現決定開展如下6項團體標準的制定工作：
2019-10LX-ICMTIA 《集成電路用固體ArF光刻膠單體》
2019-11LX-ICMTIA 《集成電路用液體ArF光刻膠單體》
2019-12LX-ICMTIA 《集成電路用ArF干式光刻膠》
2019-13LX-ICMTIA 《集成電路用ArF浸沒式光刻膠》
2019-14LX-ICMTIA 《集成電路用光刻膠檢測方法》
2019-15LX-ICMTIA 《集成電路用300mm硅外延片》
項目歸口管理單位為ICMTIA標準委員會，歡迎與本標準有關的科研機構、相關企業、使用單位等加入本標準的起草制定工作，有意參與者請與標委會辦公室聯系。
如有單位或個人對以上標準項目存在異議，請在公告之日起10個工作日內將意見反饋至標準委員會辦公室。
聯系人：劉 巖
電 話：010-82358415
郵 箱：liuyan@icmtia.com
集成電路材料產業技術創新聯盟
二零一九年六月十七日