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    T/ICMTIA 3-2020《集成電路用六氯乙硅烷》團體標準發布公告

    T/ICMTIA 3-2020《集成電路用六氯乙硅烷》團體標準發布公告

    來源：
    ICMtia
    2020/02/24
    瀏覽量

    各有關單位：

     

      根據《團體標準管理規定》及《集成電路材料產業技術創新聯盟標準制定程序》要求，經聯盟標準委員會審議通過，現批準發布T/ICMTIA 3-2020《集成電路用六氯乙硅烷》團體標準。

     

    本標準于2020年2月24日發布，并于2020年4月24日開始實施，特此公告。

     

     

    集成電路材料產業技術創新聯盟

     二零二零年二月二十四日

    T/ICMTIA 3-2020《集成電路用六氯乙硅烷》團體標準目錄

     

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    《集成電路用六氯乙硅烷》團體標準介紹
    團體標準立項公告
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